관련 기술 특허 취득…박막 원료용 제품 생산 계획
반도체용 특수가스 등 정밀화학제품 생산업체인 소디프신소재는 ´모노실란의 정제방법´에 대한 특허를 취득했다고 14일 밝혔다.
이와 관련 회사측은 "모노실란 중에 포함되는 미량 불순물을 저비용·고효율로 제거해 초고순도의 모노실란을 제조하는 방법에 관한 특허"라며 "다양한 소자의 박막 원료로 사용되는 초고순도 모노실란 생산에 활용할 계획"이라고 설명했다.
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