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동명대 연구팀, 디지털 노광기술 국내 첫 개발

  • 송고 2008.04.24 14:26 | 수정 2008.04.24 14:25

부산의 한 대학 연구팀이 디스플레이산업분야에서 유리기판에 회로를 그려주는 공정을 ´마스크 사용 없이(mask less)´해내는 신개념 디지털 노광(露光)기술을 개발, 화제가 되고 있다.

부산 동명대학교는 "로봇시스템공학과 디지털 리소그라피 연구실의 서승만 교수팀이 국내 최초로 "마스크를 사용하지 않고 노광이 가능한 디지털 노광엔진"을 개발했다고 24일 밝혔다.

노광기는 LCD 회로공정에서 카메라와 같이 포토 마스크(Photo mask.반도체나 IC 회로 제작 과정에서 회로 배열이나 패턴이 담긴 네거티브 필름 또는 유리 )에 빛을 쪼여 유기기판에 회로를 그려주는 장비이다.

최근 들어 디스플레이시장의 고해상도화 및 대형화 추세에 따라 포토 마스크도 대형화가 요구되고 있지만 포토 마스크 제작의 기술적인 한계 때문에 마스크의 사용이 대형 평판디스플레이 생산의 걸림돌이 되고 있다.

이 때문에 일본과 유럽에서도 마스크를 제거한 디지털 노광기 기술개발 경쟁이 치열하게 전개되고 있으나 개발성공여부는 아직 확인되지 않고 있다.

서 교수팀의 기술은 특허에 이어 시제품 개발까지 완료한 국내 최초의 사례이며, 핵심기술 중 일부는 지난해 한국전광㈜ 등에 이전됐고, 최근 산업자원부로부터 신기술(NET) 인증을 받아 29일 인증서를 받을 예정이다.

동명대 측은 기술 개발의 기대효과와 관련, "광학.전기.전자.기계 등이 융합된 고난도 기술로 산업계 전반에 걸쳐 큰 파급효과가 예상된다"며 "고부가가치 기술로 국가 경쟁력 및 수출에 기여함은 물론 세계 시장 선점도 가능할 것"이라고 밝혔다.(부산=연합뉴스)


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