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[공시] 테스, 플라즈마 처리장치 관련 특허 취득

  • 송고 2013.09.10 15:36 | 수정 2013.09.10 15:37
  • 데스크 기자 (press@ebn.co.kr)

반도체 제조용 기계 제조업체인 테스는 10일 플라즈마 처리장치 관련 특허를 취득했다고 공시했다.


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