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에드워드코리아, 세미콘코리아서 부식방지기술 'XCEDE' 공개

  • 송고 2017.02.08 08:25 | 수정 2017.02.08 08:25
  • 최다현 기자 (chdh0729@ebn.co.kr)

고온 상태 부식성 물질 사용 진공 펌프 부식도 높아

iXM MK2·iXL200·iXA 4506 등 솔루션 함께 선봬

진공 및 가스처리 솔루션 세계 최대 생산업체인 에드워드는 8일 개막하는 '제30회 세미콘코리아'에 참가해 반도체 제조 공정에서 사용되는 진공 펌프 핵심 부품에 대한 새로운 부식방지 코팅기술인 ‘XCEDE’를 선보였다.

이성민 에드워드코리아 대표이사는 “XCEDE는 고객의 문제에 대해 높은 수준의 응용지식과 혁신적 방식으로 접근하는 에드워드의 차별화된 솔루션을 매우 잘 보여주는 신규 기술”이라며 “이 기술을 통해 펌프 수명주기를 혁신적인 수준으로 연장시켰으며 예기치 못한 제품의 고장까지도 방지할 수 있다”고 말했다.

반도체 및 평면 패널 디스플레이 제조에서의 거친 에칭, 세정 및 증착 공정은 고온의 상태에서 부식성 물질을 사용하며 진행된다. 이런 환경에서 매우 빠른 속도로 회전하는 진공 펌프 내부 부품은 높은 부식도에 노출된다. 또한 기존의 화학적 또는 전기 화학적 코팅 공정은 제어하기가 어려워 부식이나 마모가 생기는 경우가 높다.

XCEDE는 최첨단 시설을 갖춘 천안 생산공장에 새로 설치된 전자 자동화 방식 이중 코팅 솔루션으로, 최고 품질과 제어를 보장한다. 에드워드 코리아는 이미 다방면의 테스트를 거쳐 XCEDE 코팅 솔루션의 내구성과 제품수명증대 능력을 검증한 바 있다.

이러한 XCEDE 코팅 솔루션은 신규 iXM, iXH 펌프 시리즈의 생산에 적용될 예정이며 기존 생산된 제품에도 적용되며 제품 업그레이드 역시 가능하다.

이와 함께 에드워드코리아는 XCEDE 코팅 솔루션과 더불어 iXM MK2, iXL200, iXA 4506, E-ZENITH 등 에드워드가 보유한 솔루션도 함께 선보일 예정이다.


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