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에드워드코리아, 세미콘코리아서 혁신적 진공펌프 전시

"공정 증가·부식성 가스 배기 악조건 속 수명 확보 필수"
천안 공장 현지교육 및 신제품 기술 센터 자리매김

최다현 기자 (chdh0729@ebn.co.kr)

등록 : 2018-01-29 11:34

에드워드코리아는 오는 31일부터 2월 2일까지 서울 코엑스에서 개최되는 세미콘코리아 전시회에 혁신적 기술력의 진공펌프를 선보인다고 29일 발표했다.

에드워드코리아는 이번 전시회에서 특히 3D 낸드플래시 메모리와 같은 반도체 최신 제품들과 제조 공정에 필수적으로 요구되는 새로운 기술력을 선보이는 데에 주력한다.

에드워드코리아 윤재홍 부사장은 "증가하는 가연성 공정 가스 사용량에 따라 초래되는 희석 가스의 증가 추세나 멀티 웨이퍼 도입, 늘어나는 공정 사이클 등은 더 높은 가스 유량에 대한 제어 및 처리 기술 및 환경안전 측면에 더 많은 도전과제가 늘어남을 의미한다"고 설명했다.

이어 "식각 공정의 스텝이 늘어나고 시간이 길어짐에 따라 부식성 가스를 배기하는 악조건에서는 설비 가동율에 부합하는 진공 펌프의 수명 확보와 성능 안정성의 개선을 위해 에드워드의 'Xcede'와 같은 혁신적인 코팅 기술이 필수화됐다"고 덧붙였다.

에드워드는 차세대 IC 디바이스 제조 공정에 맞춰 새로운 'iXM3000'과 'iXH3030' MK2 펌프를 출시했다.

이 제품들은 시장 선도적인 성능과 낮은 유지비용을 함께 제공함과 동시에 고온화 등을 통한 적용 애플리케이션 영역을 확대해 향후 더 복잡해지는 차세대 공정에 대한 솔루션을 제공할 수 있도록 개발됐다.

더불어 윤재홍 부사장은 "에드워드 솔루션은 팹 환경에서 고객의 니즈와 비전 뿐만 아니라 안전성과 친환경 방식으로 국내 지역 사회에도 공헌하고 있다"며 "천안 공장은 고객을 위한 현지 교육, 서비스 및 기술 응용 프로그램을 지원할 뿐만 아니라 신제품 공동 개발 및 개발을 위한 기술 센터로서 자리하고 있다"고 강조했다.
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