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'초고순도 불화수소' 8년 전 개발 국내기업…투자 없어 사실상 무산

日 생산 초고순도 불화수소와 순도 같아
"그래도 여력되는 대기업이 투자했어야"

정민주 기자 (minju0241@ebn.co.kr)

등록 : 2019-07-22 17:58

8년 전 국내 중소기업에서 일본 수출 규제 품목 중 하나인 초고순도 불화수소(에칭가스) 생산 기술이 개발됐던 것으로 알려졌다. 기술 개발에 성공했지만 생산과 판매로까지 이어지진 못했다. 대기업과 중소기업 간 협업이 부재했다는 지적이다.

22일 특허청 특허정보검색서비스(KIPRIS)에 따르면 초고순도 불화수소 생산 국내 기술 1건이 특허 등록돼있다. 2011년 7월 중소기업 A사가 등록했다.

A사는 반도체 에칭 공정용 불화수소 제조기술을 실험으로 입증했다. 초음파 진동기를 활용해 순도가 낮은 불화수소 속 불순물을 제거했다. 불순물 비중은 최소 10억분의 1, 최대 100억분의 1 이하까지 내려갔다. 반도체 공정에 쓸 수 있는 순도 99.9999999999%의 초고순도 불화수소를 추출해낸 것이다. 특허청은 이같은 결과를 2013년 1월에 공개했다.

초고순도 불화수소는 반도체 주요 공정 중 '세정' 작업에서 쓰인다. 순도가 조금만 낮아도 반도체는 바로 부식되기 때문에 순도 99.9999999999% 유지가 필수다. 업계에 따르면 모리타, 스텔라 등 일본 회사들이 글로벌 시장 70% 이상을 점유하고 있다. 국내 반도체 업체들도 주로 일본에서 초고순도 불화수소를 수입한다.

기술은 개발했지만 판매로 이어지지 않아 사실상 유명무실하다는 평가다. 업계 관계자는 "대규모 설비투자 부담 때문에 사장된 기술이 수도 없이 많다"며 "소재 국산화 추진도 대기업과 중소기업 간의 협업이 전제돼야 할 것"이라고 말했다.

A사가 특허낸 당시 모두 가능성 보다는 불확실성에 무게를 뒀다. 중소기업은 설치투자 비용만도 한 해 매출액에 맞먹는 정도가 들어가는데 자체적으로 추진하기에는 버겁다는 입장이다. 대기업은 아직 생산된 적도 없는 제품에 선뜻 투자하기 어렵다는 입장이다. 정부가 R&D 외에 시설투자를 지원하기도 쉽지 않은 상황이다.

업계 관계자는 "그래도 투자 여력이 있는 대기업이 나섰어야 했다"며 "중소기업과 상생하려 하지 않았던 한계가 이번 사태를 불러온 것"이라고 꼬집었다.

이어 "초고순도 불화수소는 순도가 0.09%만 올라도 같은 용량당 가격은 30% 정도 올라간다"며 "길게 보면 대기업 입장에서도 손해는 아닐 것"이라고 덧붙였다.