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"신규소재로 온실가스 감축"…SK하이닉스, 사회적 가치 창출 포상

  • 송고 2022.12.30 13:55 | 수정 2022.12.30 13:55
  • EBN 이남석 기자 (leens0319@ebn.co.kr)

2019년부터 매년 말 SV 페스티벌 열고 우수사례 발굴

ⓒSK하이닉스

ⓒSK하이닉스

SK하이닉스는 최근 'SV(사회적 가치) 창출 우수사례 페스티벌'을 열고 반도체 개발과 함께 친환경 효과와 협력사 동반성장 등에 기여한 우수사례를 발굴·포상했다고 30일 밝혔다.


SK하이닉스는 2019년부터 매년 말 SV 페스티벌을 열고 우수사례를 발굴하고 있다.


제조/기술 부문 최우수 사례는 식각(Etch)기술전략 신범준 TL이 추진한 건이 뽑혔다. Etch 공정 내 신규 소재(가스)를 적용해 공정 내에서 발생하는 온실가스와 질소산화물 배출량을 줄인 사례가 선정됐다.


Etch 공정은 웨이퍼 위에 반도체 회로를 만들기 위해 회로 바깥의 불필요한 부분을 깎아내는 과정으로 이 공정에는 특수한 가스가 사용된다. 신 TL은 기존에 사용되던 가스 대신에 온실가스와 질소산화물을 훨씬 적게 배출하는 가스를 채택했다. 우선 디램(DRAM) Etch 공정에서 사용되는 가스를 Low GWP 가스로 대체해 올해에만 무려 265톤의 온실가스를 감축했다. 이 가스는 다른 공정에도 확대 적용될 시 2026년까지 무려 1106톤의 온실가스를 줄일 수 있을 것으로 예상되고 있다.


또한 정부의 질소산화물 배출 기준에 맞추기 위해 디램과 낸드(NAND) Etch 공정에서 사용되는 가스의 배합 비율을 조절해 질소산화물 배출량을 51톤가량 줄였다. 이는 공정 내 전체 배출량의 무려 25%에 달하는 수치이다.


신 TL은 "DBL/ESG 경영이 필수가 된 이상 내년에도 중장기 SV 창출 계획을 수립해 실천할 예정"이라며 "이번에 진행한 환경오염 가스 저감 방안은 지속 실천할 계획"이라고 말했다.


이어 "특히 내년에는 펌프나 칠러 등의 장비 다변화를 통해 저전력 아이템을 확보, 팹(FAB) 에너지 절감도 추진할 예정"이라고 덧붙였다.


디램 개발 부문에서는 PE 리서치랩 김태훈 TL이 담당한 신규 프로브 카드(Probe Card) 개발 건이 최우수 사례로 선정됐다. 기존 프로브 카드는 반도체 고집적화에 따른 더 높은 수준의 웨이퍼 테스트 조건을 충족시키기 어려웠다. 이에 대응할 수 있는 기술을 지닌 제조사는 외국회사 밖에는 없었다. 하지만 김 TL은 소재·부품·장비를 국산화하자는 취지에 따라 국내 협력사 발굴로 눈을 돌렸다.


김 TL은 국내 제조사 중 우수한 기술력을 지닌 곳을 찾아냈고, 협력사와 함께 꾸준히 연구한 끝에 새로운 테스트 환경에 맞는 신규 프로브 카드를 개발하는 데 성공했다.


그는 "코로나로 인해 월 2회 협력사와 화상회의를 통해 가능성과 부작용 등을 검토했는데, 실물을 직접 확인할 수 없고 오로지 화상회의로만 연구를 진행해야 하는 것이 가장 큰 어려움이었다"며 "차근차근 소통해 나가면서 좋은 결과를 얻을 수 있었다"고 말했다.


P&T 부문에서는 초고속 메모리인 고대역폭 메모리(HBM) 제조 장비의 면적을 줄여 공간 효율성을 높이고 칩 생산성까지 높인 신규 장비를 협력사와 함께 개발한 사례가 최우수 사례로 뽑혔다. 이 사례의 주인공인 WLP기술 문기태 TL은 늘어난 HBM 수요에 맞게 제품 생산량을 늘려야 하는 미션을 갖고 있었다. HBM의 생산량을 늘리기 위해선 더 많은 장비가 필요한데 장비 수를 늘리면 라인 내 공간이 부족해지는 상황이었다.


문 TL은 부피는 더 작고 시간당 생산량은 더 많은 장비를 개발해 문제를 해결했다. 이는 오랫동안 협업한 협력사와 함께 이룬 성과여서 더욱 의미가 깊다.


PKG개발 부문에서는 신규 소재를 개발해 패키지 공정을 효율화하고 이를 기반으로 전력 소모와 탄소 배출량까지 줄인 사례를 최우수 사례로 뽑았다. 사례의 주인공인 PKG소재개발 김미영 TL은 패키지 공정을 조사/분석해 그중에서도 PCO 공정의 소요 시간이 상대적으로 길다는 것을 알아냈다.


이를 단축시켜 공정 효율을 높이는 방안을 고민하던 김 TL은 칩 하단에 접착제 역할을 하는 고분자 소재에 대해 연구하던 중 공정을 생략해도 품질에 문제가 없는 신규 소재를 개발해 PCO 공정을 생략하는 데 성공했다. 이를 통해 시간과 비용을 모두 줄일 수 있게 되면서 PCO 장비 투자비 115억 원을 절감하고, 전력 소모량과 탄소 배출량 감소를 통해 연 4억원 수준의 SV를 창출했다.


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