반도체용 정밀화학 및 솔루션 업체 인테그리스(Entegris)는 대만 지적재산권재판소가 자사의 '레티클 포드(Reticle Pod)' 특허를 침해한 구뎅정밀산업(Gudeng Precision Industrial)에 3260만 달러(한화 363억원) 규모의 손해배상 판결을 내렸다고 25일 밝혔다.
대만 지적재산권재판소는 인테그리스의 '레티클 SMIF 포드(Reticle SMIF Pod)' 및 관련 제품의 특허인 '레티클 포지셔닝 및 배치와 관련된 캐리어'를 침해하는 모든 제품에 대해 구뎅정밀산업이 직간접적 방법으로 더 이상 제조·영업·판매·수입하지 않을 것을 명령했다.
이와 함께 구뎅정밀산업에 특허 침해 관련 제품의 회수 및 파기도 지시했다. 인테그리스의 'EUV 1010 레티클 포드'는 마스크 결함을 개선하는데 사용된다.
인테그리스는 한국 미국 중국 프랑스 독일 이스라엘 일본 말레이시아 싱가포르 대만 등에 제조시설 및 연구센터를 가동하고 있다.
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