▶ 박진성 한양대 교수(왼쪽부터), 김우규 한국머크 박사, 박태주 한양대 교수.ⓒ한국머크

한국머크는 반도체·디스플레이 산업 발전에 기여한 연구개발 업적을 기리는 특별상의 수상자를 발표했다고 17일 밝혔다.

'머크 스페셜 어워드'는 차세대 전자기술을 위한 ALD(원자층증착) 소재 및 공정의 개선을 통해 기술적으로 크게 기여한 한국 한양대학교 신소재공학과의 박진성 교수와 재료화학공학과의 박태주 교수가 수상했다.

박진성 교수는 정보소재 및 전자소자 연구실장을 겸하고 있으며 미국전기전자학회지(IEEE Transactions on Electron Devices)의 편집장을 맡고 있다. 첨단 ALD 및 CVD(화학기상증착) 박막 응용을 위한 핵심소재 연구작업으로 인정받았으며 한국 정보 디스플레이 학회의 보드멤버로 디스플레이 산업 발전에 기여 중이다.

박진성 교수는 "ALD 소재 및 공정으로 머크 스페셜 어워드를 받게 되어 매우 영광"이라며 "ALD 소재와 공정을 반도체와 디스플레이 업계에 폭넓게 적용할 수 있도록 최선을 다하겠다"고 말했다.

박태주 교수는 나노소자공학연구실, 원자수준공정·신소자·첨단 ALD 연구센터, 한양대학교 IUCC와 함께 한국학술진흥재단의 영역선택적 원자층공정 센터에서 연구 중이며 첨단 ALD 기술에 대한 연구를 인정받았다. 그는 한국의 젊은 ALD 전문 교수들을 이끌며 배터리와 CMP 슬러리를 위한 분말 ALD 공정에 중점을 두고 반도체 디바이스를 위한 ALD 공정과 분석연구에 집중하고 있다.

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