ASML 화성캠퍼스 준공…전영현·곽노정 만나 반도체 협력 강화

네덜란드 ASML의 크리스토프 푸케 최고경영자(CEO)가 방한해 전영현 삼성전자 디바이스솔루션(DS)부문장(부회장)과 곽노정 SK하이닉스 대표이사 사장을 잇따라 만나며 협력 관계를 강화한다.

12일 업계에 따르면 푸케 CEO는 이날 오전 경기 화성 송동에서 열리는 ASML 화성캠퍼스 준공식에 참석한 뒤 오후에 전영현 부회장을 만난다. 전날에는 곽노정 사장을 만난 것으로 알려졌다.

ASML은 네덜란드를 대표하는 세계 최고의 반도체 장비 기업이다. 반도체 초미세공정 구현에 필수적인 극자외선(EUV) 노광장비를 전 세계에서 유일하게 생산해 '슈퍼 을(乙)'로도 불린다.

이번 회동에서는 미래 반도체에 대한 다양한 의견이 오갈 전망이다. 삼성전자와 SK하이닉스가 장비·공정 경쟁력도 강화될 전망이다.

네덜란드 정부는 미국의 압박에 2019년부터 EUV 노광장비의 대중국 수출을 금지했고, 최근에는 구형 장비에 대해서도 수출 시 정부 허가를 받도록 하는 등 통제를 강화하고 있다. ASML는 중국향 장비 수요가 제약된 상황에 한국 반도체 고객사의 중요성이 더 커졌다.

이에 따라 삼성전자와 SK하이닉스가 단순히 장비 구매 기업을 넘어 새로 형성되는 공급망 재편 과정에서 중요한 위치에 놓일 수 있다는 게 업계의 시각이다.

앞서 삼성·SK는 ASML의 최첨단 'High(하이) NA 극자외선(EUV)' 장비를 반입하며 최선단 공정 기술력 강화에 나섰다.

삼성전자는 올 초 처음으로 하이 NA 장비를 국내에 설치한 데 이어 연내 양산용 장비를 한 대 더 추가하기로 했다. SK하이닉스는 지난 9월 양산용 하이 NA 장비를 이천 M16팹(Fab)에 반입했다.

하이 NA EUV는 기존 EUV보다 해상도를 크게 향상한 차세대 노광 장비로 한 대당 가격이 5000억원을 넘는다. 2나노 이하 시스템반도체와 10나노 이하 메모리 반도체 생산에 필수적이다.

한편 12일 열린 ASML 화성캠퍼스 준공식에는 크리스토프 푸케 ASML CEO를 비롯해 강감찬 산업부 무역투자실장, 주한 네덜란드 대사, 삼성전자·SK하이닉스 관계자, 경기도 부지사 등 80여명이 참석했다.

앞서 ASML은 2025년까지 총 2400억원을 투자해 경기 화성에 반도체 장비 클러스터인 화성캠퍼스를 짓겠다는 계획을 발표한 바 있다. 화성캠퍼스는 ASML의 아시아 핵심 거점으로 국내 반도체 산업의 공급망 안정성 강화와 기술 내재화에 기여할 것으로 기대된다.